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无尘室洁净等级有哪些—无尘室各种洁净级别的介绍-爱游戏app官网登录入口

无尘室又称洁净室,是指一个具有低污染水平的环境,这里所指的污染来源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。更准确地讲,一个无尘室具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用大颗粒大小来厘定的。别的净室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物),更在意的是无尘室中的灰尘。

无尘的定义为:将空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除,而得到一个相当洁净的环境。亦即:这个环境中的微尘粒子相当少,称之为净室。无尘室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业,例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、和医院内的手术室等行业等,其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内,才不会对制程产生影响。

无尘室洁净等级有哪些—无尘室各种洁净级别的介绍

美国标准

级别0.1 µm0.2 µm0.3 µm0.5 µm1 µm5 µm
135731 ; ;
103507530101 ;
1003500750300100101
1,000 ; ; ;1,0001007
10,000 ; ; ;10,0001,000100
100,000 ; ; ;100,00010,0001,000
美国标准

iso 14644-1标准

级别0.1 µm0.2 µm0.3 µm0.5 µm1 µm5 µm
iso 1102 ; ; ; ;
iso 210024104 ; ;
iso 31,000237102358 ;
iso 410,0002,3701,02035283 ;
iso 5100,00023,70010,2003,52083229
iso 61,000,000237,000102,00035,2008,320293
iso 7 ; ; ;352,00083,2002,930
iso 8 ; ; ;3,520,000832,00029,300
iso 9 ; ; ;35,200,0008,320,000293,000
iso 14644-1标准

无尘室标准比较表

iso 14644-1美国每立方呎颗粒数
iso 31
iso 410
iso 5100
iso 61,000
iso 710,000
iso 8100,000
无尘室标准比较表

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